半導體設備真空泵油潔凈度PQ

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注意：因業務調整，暫不接受個人委托測試望見諒。

信息概要

半導體設備真空泵油潔凈度PQ是確保半導體制造過程中真空泵油性能與潔凈度符合行業標準的關鍵檢測項目。真空泵油在半導體設備中起到潤滑、密封和冷卻的作用，其潔凈度直接影響設備的穩定性和產品的良率。第三方檢測機構通過專業檢測服務，幫助企業評估真空泵油的潔凈度、化學成分、物理性能等指標，確保其符合半導體行業的高標準要求。檢測的重要性在于避免污染、延長設備壽命、提高生產效率，并滿足國際標準如ISO、SEMI等的合規性要求。

檢測項目

顆粒物濃度，水分含量，酸值，堿值，粘度，閃點，傾點，氧化安定性，蒸發損失，抗乳化性，腐蝕性，灰分，金屬含量，硫含量，氯含量，氮含量，苯胺點，顏色，密度，介電常數

檢測范圍

礦物油型真空泵油，合成烴型真空泵油，酯類真空泵油，硅油型真空泵油，氟化油型真空泵油，PAO型真空泵油，PAG型真空泵油，磷酸酯型真空泵油，烷基苯型真空泵油，聚醚型真空泵油，全氟聚醚型真空泵油，硅酯型真空泵油，聚α烯烴型真空泵油，聚乙二醇型真空泵油，聚苯醚型真空泵油，聚硅氧烷型真空泵油，氟硅油型真空泵油，氯代烴型真空泵油，溴代烴型真空泵油，復合型真空泵油

檢測方法

顆粒計數法：通過激光顆粒計數器測定油液中顆粒物的數量與尺寸分布。

卡爾費休法：測定油中微量水分的含量。

電位滴定法：用于檢測油品的酸值和堿值。

粘度測定法：通過旋轉粘度計測量油品的運動粘度。

閃點測試法：采用閉口杯或開口杯法測定油品的閃點。

傾點測試法：評估油品在低溫下的流動性。

氧化安定性測試法：通過RPVOT或TOST方法評估油品的抗氧化性能。

蒸發損失測試法：測定油品在高溫下的蒸發特性。

抗乳化性測試法：評估油品與水分離的能力。

腐蝕性測試法：通過銅片或鋼片腐蝕實驗評估油品的腐蝕性。

灰分測定法：高溫燃燒后測定油品的灰分含量。

原子吸收光譜法：檢測油品中的金屬元素含量。

X射線熒光光譜法：用于測定硫、氯等元素的含量。

紫外可見分光光度法：測定油品的顏色和吸光度。

密度測定法：通過密度計測量油品的密度。

檢測儀器

激光顆粒計數器，卡爾費休水分測定儀，電位滴定儀，旋轉粘度計，閃點測試儀，傾點測試儀，氧化安定性測試儀，蒸發損失測試儀，抗乳化性測試儀，銅片腐蝕測試儀，灰分測定儀，原子吸收光譜儀，X射線熒光光譜儀，紫外可見分光光度計，密度計

實驗儀器

測試流程

注意事項

1.具體的試驗周期以工程師告知的為準。

2.文章中的圖片或者標準以及具體的試驗方案僅供參考，因為每個樣品和項目都有所不同，所以最終以工程師告知的為準。

3.關于（樣品量）的需求，最好是先咨詢我們的工程師確定，避免不必要的樣品損失。

4.加急試驗周期一般是五個工作日左右，部分樣品有所差異

5.如果對于（半導體設備真空泵油潔凈度PQ）還有什么疑問，可以咨詢我們的工程師為您一一解答。