晶圓盒SMIF屏蔽認證（SEMI E78）

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注意：因業務調整，暫不接受個人委托測試望見諒。

信息概要

晶圓盒SMIF屏蔽認證（SEMI E78）是針對半導體制造中使用的標準機械接口（SMIF）晶圓盒的屏蔽性能進行的標準化檢測。該認證確保晶圓盒在運輸和存儲過程中能夠有效隔離外部污染物，保護晶圓表面的潔凈度，從而提升半導體制造的良率和可靠性。檢測的重要性在于，晶圓盒的屏蔽性能直接關系到晶圓的質量和生產效率，未通過認證的產品可能導致晶圓污染，進而造成巨大的經濟損失。通過第三方檢測機構的專業服務，可以確保晶圓盒符合SEMI E78標準，滿足半導體行業的高標準要求。

檢測項目

屏蔽效率測試，顆粒物泄漏測試，靜電屏蔽性能測試，氣密性測試，材料兼容性測試，機械強度測試，耐化學性測試，溫度循環測試，濕度穩定性測試，振動測試，沖擊測試，潔凈度測試，表面電阻測試，電磁屏蔽測試，紫外線老化測試，臭氧暴露測試，壓力衰減測試，氣流均勻性測試，密封性能測試，尺寸精度測試

檢測范圍

200mm晶圓盒，300mm晶圓盒，450mm晶圓盒，開放式晶圓盒，封閉式晶圓盒，SMIF晶圓盒，FOUP晶圓盒，石英晶圓盒，塑料晶圓盒，金屬晶圓盒，防靜電晶圓盒，高溫晶圓盒，低溫晶圓盒，真空晶圓盒，潔凈晶圓盒，防輻射晶圓盒，多層晶圓盒，單層晶圓盒，定制化晶圓盒，自動化晶圓盒

檢測方法

激光粒子計數器法：通過激光粒子計數器檢測晶圓盒內外的顆粒物數量，評估屏蔽效率。

氣溶膠挑戰測試：向晶圓盒內注入氣溶膠，檢測泄漏情況。

靜電衰減測試：測量晶圓盒材料的靜電衰減時間，評估靜電屏蔽性能。

氦質譜檢漏法：使用氦氣作為示蹤氣體，檢測晶圓盒的微小泄漏。

材料兼容性測試：將晶圓盒材料與常見化學品接觸，觀察其變化。

機械強度測試：通過施加機械力，測試晶圓盒的結構強度。

溫度循環測試：將晶圓盒置于高低溫循環環境中，評估其穩定性。

濕度穩定性測試：在高濕度環境中測試晶圓盒的性能變化。

振動測試：模擬運輸過程中的振動，檢測晶圓盒的抗震性能。

沖擊測試：通過自由落體或沖擊機測試晶圓盒的抗沖擊能力。

潔凈度測試：使用潔凈室技術檢測晶圓盒內部的顆粒物含量。

表面電阻測試：測量晶圓盒表面的電阻值，評估防靜電性能。

電磁屏蔽測試：使用電磁波發生器測試晶圓盒的電磁屏蔽效果。

紫外線老化測試：將晶圓盒暴露在紫外線下，評估其耐老化性能。

臭氧暴露測試：將晶圓盒置于臭氧環境中，測試其耐臭氧性能。

檢測儀器

激光粒子計數器，氣溶膠發生器，靜電衰減測試儀，氦質譜檢漏儀，材料測試機，溫度循環箱，濕度試驗箱，振動臺，沖擊試驗機，表面電阻測試儀，電磁屏蔽測試儀，紫外線老化箱，臭氧老化箱，壓力衰減測試儀，潔凈度檢測儀

實驗儀器

測試流程

注意事項

1.具體的試驗周期以工程師告知的為準。

2.文章中的圖片或者標準以及具體的試驗方案僅供參考，因為每個樣品和項目都有所不同，所以最終以工程師告知的為準。

3.關于（樣品量）的需求，最好是先咨詢我們的工程師確定，避免不必要的樣品損失。

4.加急試驗周期一般是五個工作日左右，部分樣品有所差異

5.如果對于（晶圓盒SMIF屏蔽認證（SEMI E78））還有什么疑問，可以咨詢我們的工程師為您一一解答。